Linear and nonlinear wave phenomena and their influence on the discharge performance are considered in the helicon plasma (HP) and magnetized inductively coupled plasma (MICP). Magnetic field configuration is shown to result in strong variation in the efficiency of plasma production caused by alterations of the character of wave processes rather than by the particle confinement. Effects of magnetic configuration are found to be dominant in operation of the compact HP with permanent magnet. Low frequency turbulence in the megahertz range is revealed to be inherent for both the HP and MICP and to depend strongly on the magnetic configuration. Enhanced axial electric field arising in front of the metal end plate in the HP is argued to be a potential source of the nonlinear effects.
ヘリコンプラズマ（HP）および磁化誘導結合プラズマ（MICP）における線形および非線形波動現象と、それらが放電特性に及ぼす影響について考察する。磁場配位は、粒子閉じ込めによるものではなく、波動過程の特性の変化によって、プラズマ生成効率に大きな変動をもたらすことが示される。磁場配位の影響は、コンパクトな永久磁石を用いたHPの動作において支配的であることが見出される。メガヘルツ領域の低周波乱流は、HPおよびMICPの両方に内在的であり、磁場配位に強く依存することが明らかにされる。金属端板の前方に生じる増強された軸方向電場は、非線形効果の潜在的な原因であると論じられる。