Artificial intelligence-driven optimization of ICP source design using COMSOL simulationsOpen Access

この研究では、人工知能（AI）を活用して誘導結合プラズマ（ICP）源の設計を最適化します。従来の試行錯誤に代わり、COMSOLシミュレーションとAIを組み合わせることで、プラズマ性能を向上させる主要パラメータを効率的に見つけ出します。これにより、設計時間が短縮され、より高性能なプラズマ源が実現可能になります。核融合や半導体製造など、プラズマ応用分野の学生や研究者にとって、AIを用いた設計最適化の具体例として参考になります。