This work reviews a number of important aspects of the kinetic theory of dc ormicrowave discharge plasmas in N2, O2, H2 and their mixtures. Thefundamental problems which are addressed include (1) the determination of thenon-equilibrium electron energy distribution function from the Boltzmannequation and its coupling to the vibrational kinetics; and (2) theself-consistent modelling of such discharges taking into account bulk andsurface kinetic processes, the gas thermal balance and the charged particlebalance. In particular, the mechanisms of dissociation, ionization andproduction of H- ions are discussed. Comparisons between modelpredictions and experiment are presented.
本論文は、N2、O2、H2およびそれらの混合気体中における直流またはマイクロ波放電プラズマの運動論の重要な側面のいくつかを概説するものである。取り扱われる基本的な問題には、(1)ボルツマン方程式からの非平衡電子エネルギー分布関数の決定と、それと振動動力学との結合、および(2)バルクおよび表面の動的過程、気体の熱平衡、ならびに荷電粒子バランスを考慮した、そのような放電の自己無撞着モデリングが含まれる。特に、解離、電離、およびH-イオンの生成のメカニズムについて議論する。モデル予測と実験との比較が提示される。