For high-frequency plasma investigation the method of atomic-beam probing of kilo-electron-volt energies is the most promising one. Reduction of the beams resulting from atomic interactions enables determination of the density of plasma components and their temperatures over a wide range of values.In this article probing of a helium plasma of a high-frequency pulsed discharge was performed with helium (8 and 15 keV) and argon (10 keV) beams, enabling determination of ion and neutral distribution in time, as well as electron temperature. The plasma parameters so obtained coincide satisfactorily with microwave and probe measurements.
高周波プラズマの調査には、keVエネルギーの原子ビームプロービング法が最も有望である。原子相互作用に起因するビームの減少により、プラズマ成分の密度とその温度を広い値の範囲にわたって決定することが可能になる。本稿では、高周波パルス放電のヘリウムプラズマのプロービングを、ヘリウム（8および15 keV）およびアルゴン（10 keV）ビームを用いて実施し、イオンおよび中性粒子の時間分布、ならびに電子温度の決定を可能にした。このようにして得られたプラズマパラメータは、マイクロ波およびプローブ測定と十分に一致する。