The confinement of low temperature, non-equilibrium plasmas to cavities having characteristic spatial dimensions <1 mm is providing new avenues of inquiry for plasma science. Not only is a previously unexplored region of parameter space now accessible, but the interaction of the plasma with its material boundaries raises fascinating questions and opportunities. Other scientific issues that come to the fore include scaling relationships and the collisional processes that become prevalent in a high pressure environment. The general characteristics of microplasmas, as well as several emerging applications, are briefly described here. With regard to the latter, emphasis will be placed on photonics and, specifically, the demonstration of large (500 × 500) arrays of microcavity plasma devices in Si, the observation of photodetection in the visible, near-infrared and ultraviolet by a microplasma, and the measurement of optical gain in the blue (λ ∼ 460 nm) from a linear array of microplasmas in a ceramic structure.
低温・非平衡プラズマを特性寸法1 mm未満の空洞に閉じ込めることは、プラズマ科学に新たな探求の道を開いている。これまで未踏のパラメータ空間が利用可能になっただけでなく、プラズマとその材料境界との相互作用は、魅力的な疑問と機会を提起している。前面に出てくる他の科学的課題には、スケーリング則と、高圧環境で顕著となる衝突過程が含まれる。ここでは、マイクロプラズマの一般的な特性とともに、いくつかの新興応用について簡潔に述べる。後者に関しては、フォトニクスに重点を置き、具体的には、Siにおけるマイクロキャビティプラズマデバイスの大規模(500×500)アレイの実証、マイクロプラズマによる可視・近赤外・紫外光検出の実証、セラミック構造におけるマイクロプラズマの線形アレイからの青色(λ∼460 nm)光学利得の測定について述べる。