FusionPapers
図版検索トレンドwiki日本の研究
© 2026 FUSIONPAPERS
About法務情報
トップに戻る

Abatement ofSF6andCF4using an enhanced kerosene microwave plasma burner

Dong Hun Shin, Yong Cheol Hong, Soon Cheon Cho, Han Sup Uhm2006年Physics of PlasmasIF 2.2出版社
この論文にはまだAI要約がありません。

関連論文

Microwave plasma torch abatement ofNF3andSF6

2006Physics of Plasmas

Abatement ofCF4by atmospheric-pressure microwave plasma torch

2003Physics of Plasmas