Mobile setup for synchrotron basedin situcharacterization during thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition

Jolien Dendooven, Eduardo Solano, Matthias M. Minjauw, Kevin Van de Kerckhove, Alessandro Coati, Emiliano Fonda, Giuseppe Portale, Yves Garreau, Christophe Detavernier2016年Review of Scientific InstrumentsIF 1.6 出版社

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