An atomic hydrogen etching sensor for H2plasma diagnostics

D. P. J. van Leuken, C. A. de Meijere, R. van der Horst, V. Y. Banine, E. A. Osorio, J. Beckers2021年Review of Scientific InstrumentsIF 1.6 出版社

wiki

この論文にはまだAI要約がありません。