Harmonic spectroscopy based on nonlinear circuit analysis for simultaneous measurement of low-temperature plasma and material-surface parametersOpen Access

本論文では、非線形回路解析を利用した高調波分光法を提案し、低温プラズマと材料表面のパラメータを同時に測定する新しい手法を紹介します。従来、プラズマや表面特性の測定は別々に行われていましたが、この方法では一つの測定で両方を取得できます。非線形回路の応答から高調波成分を解析することで、プラズマ密度や電子温度、表面の誘電率や導電率などを推定します。この技術は半導体製造や材料科学の分野で役立つと期待されます。