Plasma production studies excited by the radio frequency (RF) wave were carried out using various antenna configurations. Six types of side antennae, located outside the large cylindrical chamber, and two types of internal loop antennae were tested. The ion saturation current of a probe and the plasma emission were measured as a function of the filling pressure, the RF power and the magnetic field. With the increase in the power and the magnetic field, increased in most cases, while some of the antennae showed the maximum values under low magnetic field. Among the side antennae, a spiral antenna produced the highest value of in a wide operational window. For the case of the internal loop antennae, the electric field parallel to the magnetic field did not show a significant contribution to plasma production. These results suggest the importance of the loop-like RF-induced electric field. When an external magnetic field was applied, the uniformity of the plasma produced by the internal loop antennae in both the radial and axial directions was improved.
高周波（RF）波による励起プラズマ生成の研究を、様々なアンテナ構成を用いて行った。大型円筒容器の外部に配置した6種類の側面アンテナと、2種類の内部ループアンテナを試験した。プローブによるイオン飽和電流とプラズマ発光を、充填圧力、RFパワー、磁場の関数として測定した。パワーと磁場の増加に伴い、ほとんどの場合において は増加したが、一部のアンテナでは低磁場下で が最大値を示した。側面アンテナの中では、スパイラルアンテナが広い動作範囲で最も高い の値を示した。内部ループアンテナの場合、磁場に平行な電界成分はプラズマ生成に有意な寄与を示さなかった。これらの結果は、外部磁場印加時において、内部ループアンテナによるプラズマ生成にはループ状のRF誘導電界が重要であることを示唆している。また、外部磁場を印加することで、内部ループアンテナにより生成されたプラズマの半径方向および軸方向の均一性が向上した。