Investigating the properties of argon-helium plasma mixture generated in the RF remote discharge systemAvailable to Purchase

この論文では、RFリモート放電システムを用いて生成されたアルゴンとヘリウムの混合プラズマの特性を調査しています。プラズマの密度、温度、組成などの基本特性が実験的に調べられ、混合比や放電パラメータがプラズマ特性に与える影響が分析されています。この研究は、半導体プロセスや材料加工への応用に向けたプラズマ源の最適化に寄与します。