Operation of helicon discharges at magnetic fields B0 below 100 G is of interest for plasma etching and deposition reactors if high ion flux can be maintained with reduced field requirements. The theory of coupled helicon and Trivelpiece - Gould modes is summarized for uniform B0. Initial results from two experiments are reported. The first has a single 5 cm diameter tube with B0=0-100G injecting plasma into a field-free region. The second contains a two-dimensional array of seven such tubes covering a large area. Densities and density profiles are measured for various fields, RF powers and gas pressures. The highest density generally occurs at zero field. Because of the non-uniformity in B0, direct comparison with theory cannot yet be made.
磁場B0が100G以下のヘリコンプラズマ放電の動作は、高いイオンフラックスを維持できるのであれば、磁場要件の低減によりエッチングおよび堆積リアクターにとって興味深い。一様なB0に対する結合ヘリコン波およびトリベルピース・ゴールドモードの理論を要約する。2つの実験の初期結果を報告する。第1の実験は、直径5cmの単一管を用い、B0=0〜100Gでプラズマを無磁場領域へ注入するものである。第2の実験は、7本の同様な管を2次元配列し、広い面積をカバーするものである。様々な磁場、RFパワー、ガス圧力に対して、密度および密度分布を測定した。最高密度は一般にゼロ磁場で得られる。B0の不均一性のため、理論との直接比較はまだ行えない。