Discharge modes separated by density jumps in a helicon plasma source were controlled successfully by changing the antenna wavenumber spectrum with a two-loop antenna, in addition to varying the filling pressure Pand the magnetic field B. For the case of wave excitation with the anti-parallel antenna current direction, the threshold power Pthfor a density jump, regardless of Band P, was larger than in the case of a parallel direction, and Pthbecame larger with the increase in Bin both cases. From the excited wave structures, it was found that the helicon wave plasma was observed after the jump with the high field, while with the low field regardless of the density region or with the high field before the jump, an inductively coupled plasma was found. No indication of a major role of the lower hybrid wave and Trivelpiece-Gould wave on the plasma production was observed.
二重ループアンテナを用いてアンテナ波数スペクトルを変化させることにより、ヘリコンプラズマ源における密度ジャンプで分離された放電モードを、充填圧力Pおよび磁場Bの変化に加えて、首尾よく制御した。アンテナ電流方向が反平行の場合、密度ジャンプの閾値電力Pthは、平行の場合よりも、BおよびPによらず大きかった。また、いずれの場合もPthはBの増加とともに大きくなった。励起された波動構造から、高磁場では密度ジャンプ後にヘリコンプラズマが観測された一方、低磁場では密度領域によらず、また高磁場でも密度ジャンプ前では、誘導結合プラズマが観測されたことが明らかになった。プラズマ生成における低混成波およびトリベリース・グールド波の主要な役割を示す証拠は観測されなかった。