AbstractWhen a gridded energy analyzer is used in a relatively dense plasma, it is experimentally found that the characteristics of the analyzer can be heavily affected by the space charge of particles accumulating behind its entrance grid. As a result, the ion energy distributions observed may be largely deformed by the space charge effect.
要約 比較的密度の高いプラズマ中でグリッド付きエネルギー分析器を使用する場合、その入口グリッドの背後に蓄積する粒子の空間電荷によって、分析器の特性が大きく影響を受ける可能性があることが実験的に見出される。その結果、観測されるイオンエネルギー分布は、空間電荷効果によって大きく変形される可能性がある。