The results of two different series of experiments on generation lasing action in the soft x-ray region are presented. In the first series lasing in hydrogen-like Li III ions at 13.5 nm (2-1 transition to ground state) in a 5 mm long LiF microcapillary at 2 Hz repetition rate is demonstrated. The initial plasma was created in a 0.3 mm diameter microcapillary by a low power Nd:YAG laser (0.1 J in 5 ns), whereas the plasma pumping was proceeded with a 50 mJ, 250 fs UV laser. In the second series lasing is demonstrated in hydrogen-like B V ions at 26.2 nm (3-2 transition) using a very small Nd:YAG pumping laser (0.45 J in 8 ns) at a repetition rate of 1 Hz. The preplasma in a microcapillary was created from wall ablation with a 0.2 J (20 ns) KrF laser, and the whole soft x-ray lasing system takes up less space than is available on a m optical table. In the last part of the paper the development of soft-x-ray lasers (SXLs) for application in lithography and soft x-ray microscopy is discussed.
軟X線領域におけるレーザー発振の生成に関する2つの異なる一連の実験の結果を提示する。第1の系列では、5 mmのLiFマイクロキャピラリー内で、水素様Li IIIイオンにおける13.5 nm（基底状態への2-1遷移）のレーザー発振が、2 Hzの繰り返し率で実証された。初期プラズマは、0.3 mm径のマイクロキャピラリー内で、低出力のNd:YAGレーザー（0.1 J、5 ns）によって生成された一方、プラズマの励起は、50 mJ、250 fsのUVレーザーによって行われた。第2の系列では、水素様B Vイオンにおける26.2 nm（3-2遷移）のレーザー発振が、非常に小型のNd:YAG励起レーザー（0.45 J、8 ns）を用いて、1 Hzの繰り返し率で実証された。マイクロキャピラリー内のプレプラズマは、0.2 J（20 ns）のKrFレーザーによる壁アブレーションから生成され、軟X線レーザー発振システム全体は、 mの光学テーブル上で利用可能なスペースよりも小さな面積を占める。最後の部分では、リソグラフィーおよび軟X線顕微鏡への応用のための軟X線レーザー（SXL）の開発について議論する。