A tool for investigating the electron energy distribution function (EEDF) in plasmas was developed and used to study the primary electron behaviour in a bucket type ion source. The spatial variation of the EEDF in filter magnetic fields, which optimize the negative ion production, is extensively studied. It is verified that the high energy component of the EEDF damped over a shorter characteristic length than the low energy component. Similar behaviour is also observed and studied in the cusp regions of the plasma.
プラズマ中の電子エネルギー分布関数(EEDF)を調査するためのツールを開発し、バケット型イオン源における一次電子の挙動を研究するために使用した。負イオン生成を最適化するフィルター磁場中でのEEDFの空間変化を広範囲にわたって研究した。EEDFの高エネルギー成分は、低エネルギー成分よりも短い特性長で減衰することが確認された。同様の挙動は、プラズマのカスプ領域でも観察され、研究された。