The ion emission from a Cu-plasma produced by a 308 nm excimer laser is analysed by time-of-flight spectroscopy and by deconvolution of measured ion currents. The ion current signals recorded by an ion collector outside the critical zone, where the charge-states of ions of the expanding plasma are frozen, have been deconvoluted by the use of the Kelly and Dreyfus equation. The meaningful recovered currents recorded for Cu+ and Cu2+ ions have been compared with the current signals reconstructed from the ion energy analyser spectra. A velocity distribution and the abundance of the above ions are presented. A time-resolved average charge-state of ions is also determined. The application of the law Q ∝ l−2, based on the dilution of the total charge, Q, carried out by ions at long distances, l, from the target, is shown to be fundamental for a characterization of the laser-produced plasma.
Cuプラズマからのイオン放出は、308 nmエキシマレーザーによって生成され、飛行時間型分光法および測定イオン電流のデコンボリューションによって解析される。イオンコレクターによって記録されたイオン電流信号は、膨張するプラズマのイオンの電荷状態が凍結される臨界領域の外側で、KellyおよびDreyfusの式を用いてデコンボリューションされた。Cu+およびCu2+イオンについて記録された有意な回復電流は、イオンエネルギーアナライザーのスペクトルから再構成された電流信号と比較された。上記イオンの速度分布および存在量が提示される。イオンの時間分解平均電荷状態も決定される。ターゲットから長距離lにおいてイオンによって運ばれる全電荷Qの希釈に基づく法則Q ∝ l−2の適用は、レーザー生成プラズマの特性評価にとって基本的であることが示される。