Theoretical studies of microdischarges are less advanced than their experimental counterparts. The knowledge of fundamental mechanisms that account for dc microplasma generation and that control the remarkable stability of the discharge at high gas pressure is still incomplete. Here we present results from modelling of 3-electrode microdischarge configuration consisting of a microhollow cathode discharge (MHCD) (used as plasma cathode) and a microcathode sustained discharge (MCSD) (maintained in the volume between the plasma cathode and a third positive electrode). It is shown that the MCSD is similar to a positive plasma column and that it can be modelled separately from the MHCD, thereby eliminating the complexity inherent in modelling the cathode regions. This approach allows us to concentrate more on the plasma chemistry and to use the model as an efficient diagnostic tool.
マイクロ放電の理論的研究は、実験的研究ほど進んでいない。dcマイクロプラズマ生成を説明し、高ガス圧下での放電の顕著な安定性を制御する基本的なメカニズムに関する知識は、まだ不完全である。ここでは、プラズマカソードとして使用されるマイクロホローカソード放電（MHCD）と、プラズマカソードと第3の陽極との間の体積内に維持されるマイクロカソード維持放電（MCSD）からなる3電極マイクロ放電構成のモデリング結果を提示する。MCSDは正のプラズマ柱に類似しており、MHCDから別々にモデル化できることが示される。それにより、カソード領域のモデル化に固有の複雑さを排除できる。このアプローチにより、プラズマ化学により集中し、モデルを効率的な診断ツールとして使用することが可能になる。