Detection of non-Maxwellian electron energy distribution functions (EEDFs) by Langmuir probes in the presence of radiofrequency (RF) fluctuations in the plasma potential is possible if the probe is properly RF compensated. If the non-thermal electrons are created by wave acceleration, however, they usually are bunched at one phase of the RF. In this case, the usual method of forcing the probe to follow fluctuations in the floating potential will be inappropriate, since itself will be time-dependent in such a way as to ensure that the fast electron tail is not detected. The probe must be made to follow fluctuations in the space potential. Computations are given to show the effect of a RF on distributions with high-energy tails with and without the proper compensation. Singular EEDFs arising in the case of constant energy gain are also treated for the first time.
非マクスウェル型電子エネルギー分布関数（EEDF）のラングミュアプローブによる検出は、プラズマ電位に高周波（RF）変動が存在する場合でも、プローブが適切にRF補正されていれば可能である。しかしながら、非熱的電子が波動加速によって生成される場合、それらの電子は通常、RFの特定の位相に集束される。この場合、浮遊電位の変動に追従するようプローブを強制する通常の方法は不適切となる。なぜなら、浮遊電位自体が、高速電子テールが検出されないことを保証するような方法で時間依存性を持つためである。プローブは、空間電位の変動に追従するようにしなければならない。高エネルギー尾部を有する分布に対するRFの影響を、適切な補正がある場合とない場合について示す計算結果を示す。また、一定のエネルギー利得が生じる場合に現れる特異なEEDFについても、初めて取り扱う。