Particle charging in afterglow of EUV-induced plasmaOpen Access

EUVリソグラフィでは、極端紫外光によりプラズマが発生し、その残光中で微粒子が帯電することがあります。この論文は、EUV誘起プラズマの残光における粒子の帯電機構を調査したものです。実験またはシミュレーションにより、プラズマ中の電子やイオンが粒子に付着する過程を解析し、帯電量やその時間変化を明らかにしています。この研究は、EUVリソグラフィの性能向上や装置内のコンタミネーション制御に重要な知見を提供します。