Particle charging in afterglow of EUV-induced plasmaOpen Access

Zahra Marvi, Manis Chaudhuri, Luuk Heijmans, MG Hariprasad, Mark van de Kerkhof2026年5月Physics of PlasmasIF 2.2 出版社

AIによる論文要約

EUV誘起プラズマの残光における粒子帯電

JAEUVリソグラフィやプラズマ物理に関心のある学生や研究者。特に、微粒子の帯電現象やプラズマ中の粒子挙動を学びたい方。#EUV #プラズマ #粒子帯電 #残光 #リソグラフィ

LLM向け: {"Title": "Particle charging in afterglow of EUV-induced plasma", "Authors": "N/…

EUVリソグラフィでは、極端紫外光によりプラズマが発生し、その残光中で微粒子が帯電することがあります。この論文は、EUV誘起プラズマの残光における粒子の帯電機構を調査したものです。実験またはシミュレーションにより、プラズマ中の電子やイオンが粒子に付着する過程を解析し、帯電量やその時間変化を明らかにしています。この研究は、EUVリソグラフィの性能向上や装置内のコンタミネーション制御に重要な知見を提供します。