AbstractElectron cyclotron resonance-discharge cleaning (ECR-DC) was carried out in tokamak experiments to reduce the impurities on the surface of plasma chamber, yielding good results. However, quantitative analysis for residual gases by long time ECR-DC has not yet been reported. In the TRIAM-1M device, the surface of the plasma chamber was cleaned using long time ECR-DC without baking the chamber, and clean plasmas were produced. The effects of ECR-DC were analyzed by the measuring of 17 (OH), 18 (H2O), 28 (CO) and 44 (CO2) with quadrupole mass analyzer (QMA).
電子サイクロトロン共鳴放電洗浄（ECR-DC）は、プラズマ容器表面の不純物を低減するためにトカマク実験において実施され、良好な結果が得られた。しかしながら、長時間のECR-DCによる残留ガスの定量的な分析は、これまで報告されていない。TRIAM-1M装置において、容器のベーキングを行わずに長時間のECR-DCを用いてプラズマ容器表面の洗浄を実施し、清浄なプラズマが生成された。ECR-DCの効果は、四重極質量分析計（QMA）を用いて、17（OH）、18（H2O）、28（CO）、および44（CO2）の測定により分析された。