High-performance droplet-triggered laser shooting control and test system for laser-produced plasma extreme ultraviolet light sourceAvailable to Purchase

EUVリソグラフィ用光源では、直径数十マイクロメートルの錫液滴に大出力レーザーを当ててプラズマを作り、極端紫外光を出す。液滴は高速で飛んでいるため、狙った瞬間に狙った位置へレーザーを当てる精密な同期制御が不可欠。本論文は、液滴の通過を検知してからレーザーを発射するまでのタイミングを高精度に制御し、その性能を検証する試験システムを提案する。安定したEUV出力と半導体量産のスループット向上に貢献する技術である。