A radial Langmuir probe sheath model is used to make a prediction of the floating potential of a Langmuir probe immersed in an electronegative plasma. The new electronegative plasma sheath model takes into account the positive ion and the negative ion thermal energies and is valid for any ion temperature value. The values predicted can be used for diagnosing and controlling an electronegative plasma, and we compare them with measurements of the floating potential in an Argon plasma and in a Neon plasma with with two distinct electron populations at different temperatures. We have found that the agreement is very good in a wide range of plasma pressure and discharge current values, and thus the model is applicable for electronegative plasmas. Moreover, the model can be used to measure the energy with which the ions will collide with the surface of the probe.
ラングミュアプローブのシースモデルを用いて、電気陰性プラズマ中に浸されたラングミュアプローブの浮遊電位を予測する。新しい電気陰性プラズマシースモデルは、陽イオンと陰イオンの熱エネルギーを考慮し、任意のイオン温度値に対して有効である。予測された値は、電気陰性プラズマの診断と制御に使用でき、我々はそれらを、異なる温度の2つの電子群を有するアルゴンプラズマおよびネオンプラズマにおける浮遊電位の測定値と比較する。広範囲のプラズマ圧力および放電電流値において、両者は非常によく一致することがわかった。したがって、このモデルは電気陰性プラズマに適用可能である。さらに、このモデルを用いて、イオンがプローブ表面に衝突するエネルギーを測定することができる。