Investigation of the screening effect in array micro-hollow cathode sustained dischargeAvailable to Purchase

マイクロ中空陰極を多数並べて放電させるアレイ型プラズマ源では、隣り合う陰極が互いの電界やプラズマをさえぎり合う「遮蔽（スクリーニング）効果」が生じる。本論文は、この遮蔽効果が放電の維持やプラズマの均一性にどう影響するかを調べた研究である。中空陰極は小さな穴の中で電子が往復し効率よくプラズマを作る仕組みで、それを多数並べれば大面積のプラズマ源ができる。しかし陰極同士が近すぎると効果が弱まる可能性がある。その限界や設計条件を明らかにすることが目的と考えられる。なお抄録は公開されていない。