The three-fluid model was employed to study electronegative magnetized plasma sheath properties in the presence of non-Maxwellian electrons. The Bohm condition for the electronegative magnetized plasma was extended in the presence of a homogeneous ionization source term and an ion-neutral collision force. The effect of the following physical parameters: the degree of non-Maxwellian electrons, ion-neutral collisions, obliqueness of the magnetic field and source frequency on the plasma sheath parameters are numerically analyzed and presented. It was found that the magnitude of the potential increased in all cases and hence the velocity of the ions increased towards the wall. The plasma sheath parameters were not significantly varied about 2λDe from the presheath—sheath interface, but after that, the sheath parameters abruptly changed towards the wall. The effect of ion-neutral collisions and the obliqueness of the magnetic field on the potential distribution, net charge density and drift velocity of ions are discussed. Furthermore, a comparison of plasma sheath characteristics with and without the ion source term is systematically presented.
三流体モデルを用いて、非マクスウェル電子の存在下における電気陰性磁化プラズマシースの特性を研究した。電気陰性磁化プラズマに対するボーム条件は、均一な電離源項とイオン-中性粒子衝突力を含めて拡張された。以下の物理パラメータの影響：非マクスウェル電子の程度、イオン-中性粒子衝突、磁場の傾斜角、および源周波数がプラズマシースパラメータに及ぼす影響を数値的に解析し、提示した。すべての場合において電位の大きさが増加し、したがってイオンの速度が壁に向かって増加することが見出された。プラズマシースパラメータは、プレシース-シース界面から約2λDeの範囲では有意に変化しなかったが、その後、シースパラメータは壁に向かって急激に変化した。イオン-中性粒子衝突と磁場の傾斜角が電位分布、正味電荷密度、およびイオンのドリフト速度に及ぼす影響について議論した。さらに、イオン源の有無によるプラズマシース特性の比較を系統的に提示した。