Numerical study on the discharge properties of a dual-coil pulsed power inductively coupled plasma torchOpen Access

この論文は、二つのコイルを用いたパルス電力型誘導結合プラズマ（ICP）トーチの放電特性を数値的に調べたものです。従来のICPトーチに比べ、デュアルコイル設計によりプラズマの生成効率や制御性が向上する可能性があります。数値シミュレーションを用いて、コイル配置やパルス条件がプラズマの密度、温度、分布に与える影響を解析しました。結果として、適切なパルスパラメータとコイル設計により、高密度かつ均一なプラズマ生成が可能であることを示しました。この研究は、プラズマ加工や材料処理への応用に役立ちます。