図版検索
トレンド
wiki
日本の研究
その他
トップに戻る
A 915 MHz/2.45 GHz ECR plasma source for large area ion beam and plasma processing
J. Asmussen, J. Hopwood, F. C. Sze
1990年
Review of Scientific Instruments
IF 1.6
出版社
wiki
Ion beams
Electron cyclotron resonance
Plasma source
この論文にはまだAI要約がありません。