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Influence of microwave driver coupling design on plasma density at Testbench for Ion sources Plasma Studies, a 2.45 GHz Electron Cyclotron Resonance Plasma Reactor
A. Megía-Macías, O. D. Cortázar, A. Vizcaíno-de-Julián
2014年
Review of Scientific Instruments
IF 1.6
出版社
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