In recent years, the method of incoherent Thomson scattering has been applied to make measurements of electron properties of glow discharges used for industrial applications. These plasmas have electron density of the order of and electron temperature of a few eV. This paper reviews the recent progress in this research area. Details of the experimental systems are given and examples of measurements made in several different types of glow discharges are presented. A method in which Thomson scattering is combined with Rayleigh scattering to provide direct measurements of the neutral density is also described and an example of measurements is given. The electron velocity and energy distribution functions are also an important property of these plasmas, and the extent to which Thomson scattering can measure the distribution function is discussed. Future trends for Thomson scattering in glow discharges are also discussed.
近年、非干渉性トムソン散乱法が、産業応用に用いられるグロー放電の電子特性の測定に適用されている。これらのプラズマは、電子密度が約 のオーダーであり、電子温度は数 eV である。本論文では、この研究分野における最近の進歩を概説する。実験装置の詳細を示し、数種類の異なるグロー放電において行われた測定の例を提示する。また、トムソン散乱とレイリー散乱を組み合わせることで中性粒子密度を直接測定する手法についても述べ、その測定例を示す。電子の速度分布関数およびエネルギー分布関数もこれらのプラズマの重要な特性であり、トムソン散乱によって分布関数をどの程度まで測定できるかについて議論する。さらに、グロー放電におけるトムソン散乱の今後の動向についても考察する。