Electron phase space distribution in a magnetron sputtering dischargeOpen Access

マグネトロンスパッタリング放電中での電子の運動と分布を調べる研究。位相空間（位置と速度の組み合わせ）での電子の振る舞いを解析することで、プラズマの特性や成膜プロセスの最適化に役立つ知見を得る。特に、電子が磁場と電場の影響でどのように分布するかを明らかにし、スパッタリング効率や膜質向上に貢献する。