Combined effect of magnetized radio-frequency sheath resonance (MRSR) and E × B drift in weakly magnetized capacitively coupled plasmasAvailable to Purchase

Ze-Xuan Liu, Lei-Yu Zhang, Fang-Fang Ma, Julian Schulze, Quan-Zhi Zhang2026年7月Physics of PlasmasIF 2.2 出版社

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Plasma sheath Capacitively coupled plasma

AIによる論文要約

磁化された高周波シース共鳴(MRSR)とE×Bドリフトの複合効果：弱磁場容量結合プラズマ

JAプラズマ物理学や半導体プロセスに興味がある研究者や大学生。プラズマ中の複雑な現象を理解し、実際のプロセス改善に活かしたい人。#プラズマ物理 #容量結合プラズマ #E×Bドリフト #シース共鳴 #半導体プロセス

LLM向け: {"Title": "Combined effect of magnetized radio-frequency sheath resonance (MRSR)…

この研究は、弱い磁場がかかった容量結合プラズマ(CCP)で、磁化された高周波シース共鳴(MRSR)とE×Bドリフトが同時に起こるとどうなるかを調べたものです。これらの効果が重なることで、プラズマ中の粒子の動きやエネルギーが変わり、プラズマの密度や分布に影響を与えます。この理解は、半導体製造などのプラズマプロセスの精度向上や新しい制御方法の開発に役立ちます。