Coupling between the magnetized radio-frequency sheath resonance and the electrical asymmetry effect in magnetized capacitively coupled plasmasAvailable to Purchase

本論文は、磁場をかけた容量結合型プラズマ（CCP）装置の中で起きる2つの現象、すなわち「磁化された高周波シース共振」と「電気的非対称効果（EAE）」が互いにどう影響し合うかを調べたものです。シースとは電極近くの薄い電荷層で、そこでの波の共振と、電極面積の非対称や電圧波形の非対称から生じる直流自己バイアス（EAE）が結びつくと、放電の電圧・電流分布やイオン加熱が大きく変わり得ます。要旨が公開されていないため詳細な手法や結果は不明ですが、磁場印加によるシース共振の制御とEAEの相互作用を理解することは、半導体プロセス用プラズマの均一性や制御性の向上につながると期待されます。