容量結合プラズマ（Capacitively coupled plasma、capacitively coupled、capacitively coupled plasmas）は、核融合・プラズマ物理学の現象。平行平板電極に高周波（RF）電圧を印加し、容量結合によって生成される低温プラズマである。半導体エッチングや薄膜堆積などの材料プロセスに広く利用され、イオンエネルギーとイオンフラックスの独立制御が課題となる。低圧動作では非平衡輸送が支配的となり、粒子シミュレーションや流体モデルで解析される。この用語集が追う論文のうち、タイトルにこの主題が現れるものは79本ある。比重が最も大きかったのは2020–2024年で、その期間の論文の0.25%を占めた。直近の2025–2029年では0.17%。この用語集がこの主題を最初に拾うのは2000年以降で、それ以前の収録論文には現れない。
推移
他の項目を重ねる
研究の変遷
1995–20041本 · 0.01%
孤立した出現
この時代においては、容量結合プラズマに関する論文はわずか1件のみであり、流体ガリウムと容量結合RFプラズマの相互作用を調査したものである。他の主題や装置との共起は見られず、この主題が極めて特殊な文脈でのみ扱われたことを示している。
この時代の論文から
- Investigation on interactions of fluid gallium with capacitively coupled rf-plasmasPlasma Physics and Controlled Fusion 2004
2005–201426本 · 0.17%
モデリングと診断の拡大
この時代では、容量結合プラズマは窒素やアルゴン、プラズマシースといった基礎的な話題と並行して論じられ、二周波容量結合プラズマの流体モデリングや時間依存シースモデル、大気圧ヘリウム・アルゴン放電の比較など、モデリングと診断が中心である。また、有機低誘電率材料のエッチング予測やテーラード電圧波形による励起といった応用研究も現れ、研究対象が多様化している。
同時に語られた主題窒素、プラズマシース、アルゴン、プラズマ診断、ヘリウム、発光分光
この時代の論文から
この数字の作り方
- 数え方 —
- 同じものが別の名前で書かれていてもまとめて数えている（Capacitively coupled plasma、capacitively coupled、capacitively coupled plasmas など）。綴りが変わった時期に推移が動いて見える、ということは起きない
- 割合 —
- その時代の収録論文全体に占める比率。コーパスは1970年代より2010年代のほうが9倍大きいため、本数のままではほとんどの主題が右肩上がりに見えてしまう
- 記述 —
- その時代の論文・共起する主題・登場する装置だけを根拠にAIが書いている
- 冒頭の定義 —
- 用語そのものの説明だけは、論文5本の要旨を読ませたうえでAIの分野知識で書かせている。ここだけは収録論文に書かれていることの要約ではない
- 範囲 —
- 収録は6誌に限られる。ここで減っていることは、分野がその取り組みをやめたことを意味しない