Major industrial plasma processes operating close to atmospheric pressure are discussed. Applications of thermal plasmas include electric arc furnaces and plasma torches for generation of powders, for spraying refractory materials, for cutting and welding and for destruction of hazardous waste. Other applications include miniature circuit breakers and electrical discharge machining. Non-equilibrium cold plasmas at atmospheric pressure are obtained in corona discharges used in electrostatic precipitators and in dielectric-barrier discharges used for generation of ozone, for pollution control and for surface treatment. More recent applications include UV excimer lamps, mercury-free fluorescent lamps and flat plasma displays.
主要な工業用プラズマプロセスは、ほぼ大気圧で動作するものについて論じられる。熱プラズマの応用には、粉末生成用のアーク炉やプラズマトーチ、耐火材料の溶射、切断および溶接、有害廃棄物の分解が含まれる。その他の応用としては、小型遮断器や放電加工がある。大気圧での非平衡低温プラズマは、静電集塵装置に用いられるコロナ放電や、オゾン生成、汚染制御、表面処理に用いられる誘電体バリア放電において得られる。より最近の応用には、紫外線エキシマランプ、水銀不使用の蛍光ランプ、平面プラズマディスプレイがある。