A series of different discharge configurations suitable for surface treatment at atmospheric pressure is discussed, including a non-thermal modular radio frequency (13.56, 27.12 or 40.78 MHz) jet plasma.The capacitively coupled configuration allows the operation with both rare gases (e.g. Ar) and reactive gases (N2, air, reactive admixtures of silicon-containing compounds). Several capillaries are arranged in an array to allow plasma assisted treatment of surfaces including non-flat geometries. Optical emission spectroscopy, mass spectrometry and measurements of the axial and radial temperature profiles are used to characterize the discharge.The surface energy of different polymer materials is significantly enhanced after plasma treatment. Many applications are possible, such as plasma activation of surfaces for adhesion control, surface cleaning, plasma enhanced CVD, plasma cleaning, plasma activation and biomedical applications.
大気圧下での表面処理に適したさまざまな放電構成について考察する。これには、非熱平衡型モジュール式高周波（13.56、27.12、または40.78 MHz）ジェットプラズマが含まれる。容量結合構成により、希ガス（例：Ar）および反応性ガス（N2、空気、シリコン含有反応性混合物）の両方を用いた動作が可能となる。複数のキャピラリーをアレイ状に配置することで、非平面形状を含む表面のプラズマ支援処理が可能となる。発光分光分析、質量分析、ならびに軸方向および半径方向の温度分布測定を用いて、放電の特性評価を行う。プラズマ処理後、さまざまなポリマーの表面エネルギーは大幅に向上する。接着制御のための表面活性化、表面洗浄、プラズマCVD、プラズマクリーニング、プラズマ活性化、および生物医学的応用など、多くの応用が可能である。