Measurements of secondary electron emission (SEE) are presented for graphite, hydrogen-implanted graphite and an amorphous graphite (a-C:H) carbon layer, over a wide range of energies and angles of incidence. These data have been integrated over a Maxwellian velocity distribution to simulate the effect of SEE due to plasma electrons. The SEE yields have then been used to calculate plasma sheath potentials, sheath heat transmission coefficients and sputtering yields for a range of ions as a function of plasma temperature. The increased SEE yield with temperature reduces the normalized sheath potential and increases the sheath transmission coefficient markedly. The role of space charge in the sheath is discussed.
二次電子放出（SEE）の測定結果を、グラファイト、水素注入グラファイト、および非晶質グラファイト（a-C）炭素層について、広範囲のエネルギーと入射角にわたって提示する。これらのデータは、プラズマ電子によるSEEの効果をシミュレートするために、マクスウェル速度分布にわたって積分された。次に、SEE収率を用いて、プラズマ温度の関数として、一連のイオンに対するプラズマシース電位、シース熱伝達係数、およびスパッタリング収率を計算した。温度によるSEE収率の増加は、規格化シース電位を低下させ、シース伝達係数を著しく増加させる。シースにおける空間電荷の役割について考察する。