A study on the process parameters and deposition characteristics of an atmospheric pressure plasma jet system under the influence of an external magnetic fieldOpen Access

この研究では、大気圧プラズマジェットシステムにおいて外部磁場を印加した際のプロセスパラメータ（例：ガス流量、印加電圧）と堆積特性（例：膜厚、均一性）の関係を調査しました。外部磁場がプラズマの挙動や堆積プロセスに与える影響を明らかにすることで、より制御性の高い薄膜形成技術の開発を目指しています。結果として、磁場の強さや方向によって堆積速度や膜質が変化することが示されました。この知見は、プラズマプロセスの最適化や新しい材料合成に役立つと考えられます。