The concept of the 'resonance' wave discharge is introduced to explain the high absorption efficiency of inductively coupled helicon plasma source. This discharge is supported by long-scale weakly damped eigenmodes excited in plasma resonator. The RF power absorbed in it is inversely proportional to electron collision frequency. The fields excited by simple single-loop inner antenna and its impedance are calculated in a cylindrical metal resonator. At low collision frequencies the field amplitudes and antenna resistance are shown to peak sharply near the helicon dispersion branches.
「共鳴」波動放電の概念は、誘導結合ヘリコンプラズマ源の高い吸収効率を説明するために導入される。この放電は、プラズマ共振器中で励起される長波長の弱減衰固有モードによって支えられている。その中で吸収されるRF電力は、電子衝突周波数に反比例する。単純な単ループ内部アンテナによって励起される電界とそのインピーダンスは、円筒形金属共振器中で計算される。低衝突周波数において、電界振幅とアンテナ抵抗は、ヘリコン分散分枝の近傍で鋭いピークを示すことが明らかにされる。