An overview of the most recent experimental and modelling efforts onpowder formation in reactive plasmas is given. The physics and chemistry ofthese dusty plasmas and their fundamental mechanisms leading to the productionof nanometre-sized particles and their successive agglomeration leading tomicrometre-sized particles are reviewed. The central role of particle chargingand of charge fluctuations regarding the particle agglomeration is emphasised.Finally, the influence of the dust particles on the plasma parameters isdescribed and an outlook on the most eminent problems towards theunderstanding of the reactive, dusty plasmas is given.
反応性プラズマにおける粉末形成に関する最近の実験的およびモデリング的取り組みの概要を示す。これらのダスティープラズマの物理と化学、ならびにナノメートルサイズの粒子の生成と、それに続くマイクロメートルサイズの粒子への連続的な凝集をもたらす基本的なメカニズムについて概説する。粒子の凝集に関する粒子帯電および帯電変動の中心的役割を強調する。最後に、プラズマパラメータに対するダスト粒子の影響を述べ、反応性ダスティープラズマの理解に向けた最も重要な課題について展望を示す。