The influence of ion flux during plasma-enhanced chemical vapor deposition on the sp3/sp2 ratio of diamond-like carbon deposited on alumina particlesAvailable to Purchase

アルミナ（酸化アルミニウム）の微粒子の表面に、プラズマを使った化学気相成長（PECVD）でダイヤモンドライクカーボン（DLC）という硬い炭素膜を作る研究です。DLCの硬さや性質は、炭素原子の結合の割合（ダイヤモンド構造のsp3と黒鉛構造のsp2の比）で決まります。この論文は、成膜中に粒子に当たるイオンの量（イオンフラックス）を変えると、このsp3/sp2比がどう変わるかを調べています。粉体 surface への均一な硬質コーティング技術につながる内容です。