A new plasma source, the so-called diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD), is described. DCSBD allows a visually diffuse high-density 'cold' plasma to be sustained in atmospheric-pressure air at a high plasma power density exceeding 100 W cm−3 that permits high-speed surface processing of large-area webs and flat surfaces. This is demonstrated by the results on a successful in-line activation of thin polypropylene fabric at 450 m min−1 and plasma exposures as short as 0.14 s. DCSBD basic features resulting in the observed high efficiency of plasma activation and the related plasmachemical mechanism are discussed briefly.
新規のプラズマ源である、いわゆる拡散共面型表面バリア放電(DCSBD)について説明する。DCSBDは、100 W cm⁻³を超える高いプラズマ出力密度で大気圧空気中に視覚的に拡散した高密度の「低温」プラズマを維持することができ、これにより大面積のウェブや平面の高速表面処理が可能となる。このことは、450 m min⁻¹での薄いポリプロピレン織物のインライン活性化と、0.14 sという短いプラズマ曝露時間での成功した結果によって実証されている。観察された高いプラズマ活性化効率をもたらすDCSBDの基本的特徴と、関連するプラズマ化学的メカニズムについて簡潔に論じる。