Improved hydrogen ionization rate in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation by enlarging the interaction path using an insulating tube

Zhuo Wang, Ying Zhu, Liu He Li, Qiu Yuan Lu, Fu Shun He, Dan Dan Dun, Fen Li, Ricky K. Y. Fu, Paul K. Chu2011年Review of Scientific InstrumentsIF 1.6 出版社

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