AbstractHigh repetition (320 pps), high average power (100 W) pulse Nd:YAG slab laser has been developed for x-ray driver. A strong X-ray emission around 10.8 nm, which wavelength is attractive for x-ray projection lithography, was generated from cryogenic Xe targets pumped by this laser pulses. CO2 and H2O were also tested for cryogenic targets and we found that the emission intensity from Xe around this wavelength region was at least 10 times higher than that from H2O, CO2.
高繰り返し（320 pps）、高平均出力（100 W）のパルスNd:YAGスラブレーザーをX線ドライバー用に開発した。このレーザーパルスで励起された低温Xeターゲットから、X線投影リソグラフィーに魅力的な波長である約10.8 nmの強いX線放射が生成された。CO2とH2Oも低温ターゲットとして試験し、この波長領域におけるXeからの発光強度は、H2OやCO2からの発光強度よりも少なくとも10倍高いことがわかった。