The laser photodetachment technique in its combination with probe measurements is applied for the determination of the electronegativity and the concentration of the negative hydrogen ions in the expansion plasma volume of an inductively driven two-chamber plasma source. Both the implementation of the method and the obtained results are discussed in the study. The variations of the gas pressure and the applied rf power in the experiments are in the ranges p = (0.3–5) Pa and P = (200–700) W, respectively. The results for an almost constant—with the gas pressure—electronegativity and its increase with the applied power are in agreement with theoretical estimations. The obtained nonmonotonic variation of the concentration of the negative ions with increasing gas pressure correlates with the gas pressure dependence of the electron density in the expansion plasma region of the source.
レーザー光脱離技術とプローブ測定を組み合わせた手法を、誘導結合型二室プラズマ源の膨張プラズマ中の負水素イオンの電気陰性度と濃度の決定に適用した。本手法の実装と得られた結果の両方について考察する。実験におけるガス圧力とRF電力の変動範囲は、それぞれp = (0.3–5) PaおよびP = (200–700) Wである。ガス圧力に対してほぼ一定である電気陰性度と、印加電力の増加に伴うその増加に関する結果は、理論的推定と一致している。負イオン濃度のガス圧力増加に伴う非単調な変化は、源の膨張プラズマ領域における電子密度のガス圧力依存性と相関している。