In this paper we show mass spectrometry results for a radio-frequency-driven micro-atmospheric pressure plasma jet (μ-APPJ) discharge obtained using a mass analyzer with triple differential pumping allowing us to sample directly in ambient atmospheric pressure environment (Hiden HPR-60). The flow of the buffer gas (mixture of helium and 1% oxygen) was 2 slm and 3 slm and the excitation frequency was 13.56 MHz. We monitored production of atomic oxygen and nitrogen in the plasma for different flows and powers given by the RF power supply. These measurements were made for energies of electrons emitted from the ionization filament below the threshold for dissociation of O2 and N2. In addition to oxygen and nitrogen atoms, yields for O2, N2, NO and O3 are recorded for different powers and gas flows. It is shown that the μ-APPJ is symmetrical and operates in α-mode. The power transmitted to the discharge was below 5 W in all measurements.
本論文では、高周波駆動マイクロ大気圧プラズマジェット（μ-APPJ）放電について、三重差動排気を備えた質量分析計（Hiden HPR-60）を用いて大気圧環境下で直接サンプリングすることにより得られた質量分析結果を示す。バッファガス（ヘリウムと1%酸素の混合ガス）の流量は2 slmおよび3 slmとし、励起周波数は13.56 MHzとした。我々は、RF電源によって与えられる異なる流量および出力条件において、プラズマ中の酸素原子および窒素原子の生成をモニタリングした。これらの測定は、O₂およびN₂の解離閾値以下のエネルギーを持つイオン化フィラメントから放出される電子に対して行われた。酸素原子および窒素原子に加えて、O₂、N₂、NOおよびO₃の収量も、異なる出力およびガス流量条件において記録された。μ-APPJは対称であり、αモードで動作することが示された。すべての測定において、放電に伝達される出力は5 W未満であった。